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無塵車間管理制度及流程篇一

潔凈服的管理包括:潔凈服采購和制作（含材料選擇）、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規定等。

1潔凈服采購和制作

1.1潔凈服必須選用由專業廠家制作的合格產品。

1.2潔凈服必須滿足工藝對潔凈/防靜電等的全部要求。

2潔凈工作服使用管理基本原則

2.1人員進入潔凈室首先由個人潔凈工作服專用柜或收納處取出潔凈工作服，若潔凈工作服尚未開封，需仔細切開包裝拿出服裝，不沾帶包裝料碎屑。

2.2穿衣時，不要使衣服觸及地板、桌子、椅子等物品，不要沾污袖子和褲腿下擺，姿勢要保持直立，按從上至下順序穿衣[戴帽→穿衣（分體潔凈服先上衣后褲子）→穿鞋]，必要時須設置專用的穿衣臺。

2.3戴兜帽和帽子時要把頭發全部遮住，頭部緊緊地包在兜帽內。

2.4若不穿潔凈鞋而采取代用鞋套的臨時措施，穿鞋套時要把褲腿下擺緊緊地裹在鞋套內。

2.5在不違反潔服使用管理基本原則前提下，生產線可細化出實用的和可操作性強的具體規定。

3潔凈服的清洗規定

3.1潔凈服的清洗若采取外協形式，清洗公司應選取經考察合格的專業清洗公司。

3.2潔凈服的清洗液不得對潔凈服的性能有影響；潔凈服的面料清洗后不允許有脫絲、掉渣。

3.3清洗后的衣物防靜電織物性能不應被破壞，若被破壞，應及時報廢或降級使用，降級使用應有明顯標記且禁止在有防靜電要求的區域內使用。

3.4清洗完成的潔凈服應進行可靠包裝后運送及存放，避免與外界的交叉污染。

無塵車間管理制度及流程篇二

半導體產品生產過程對車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產工藝需要、保證產品質量、安全生產，必須對潔凈室的環境、人員、物料、設備、生產過程等進行控制。

1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入、物料進入、各類設備的搬入以及相關的設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入無塵車間。

2、操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗；操作人員的移動和動作；室內設備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止潔凈室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖等。

3、嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括凈化空調系統、各類水氣電系統、生產工藝設備和工器具（工裝夾具）等。以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度等級。

4、清掃、滅菌管理，對潔凈室內的各類設備、設施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規定，防止、捎除潔凈室內塵粒、微生物的產生、滯留、繁殖。

5、潔凈室環境控制的內容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。

公司所有無塵生產區及潔凈輔助間（包括人員凈化用室、物料凈化用室和無塵倉庫管理室等）、車間內管理區（包括部分辦公、值班、管理和體息室等）和將來新建、改建、擴建的無塵廠房及其輔助用房。

1、為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對潔凈室內的潔凈度進行檢測。

2、檢測測試設備：激光粒子記數器

3、檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區域進行一次檢測5.2、。4、檢測條件：靜態潔凈度測試

5、數據收集整理：將每次檢測的結果輸入監控室的電腦中儲存，并在每個季度末（或下季度初）給各部門發該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門。

6、各潔凈區域潔凈級別標準：按照《半導體公司能源管理標準》要求執行。

7、潔凈室用凈化空調系統及設備的。維護管理與相應的操作規程、維修制度等（包括凈化空調系統和潔凈室相關的公用動力系統的設備、管線等管理維護，如，空氣過濾器、空調機、局部凈化設備、冷凍機及水泵、純水設備、配電設備、安全報警設施等）執行威世半導體（西安）有限公司廠務部相關sop文件。

潔凈室的人員管理包括：制定專職管理人員的職責、潔凈室人員的準入制度、人員培訓教育規定、進入潔凈室人員的“人凈程序”管理和退出管理制度等。

1、在潔凈廠房內眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔凈環境中的活動，會明顯地增加潔凈環境的污染程度。

2、對于高級別潔凈區域，應嚴格控制進入人員數量，并規范進行二次更衣。

3、要獲得生產環境所需要的空氣潔凈度等級或延長空氣過濾器的使用壽命，對進入潔凈室的人員、物料進行凈化十分必要。

4、為保持潔凈室空氣潔凈度，應盡量減少進入潔凈室人員帶入的污染物。所有進人潔凈室的人員必須嚴格地按規定程序進行人身凈化。

5、個人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妝，換上指定的服裝，按空氣潔凈度等級相應的脫衣順序脫衣，放在規定的衣柜內。

6、進入脫衣室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脫下放在鞋柜內，禁止不脫鞋直接跨越更衣凳而進入更衣室。

7、若公司后期發展需要更高潔凈級別要求的潔凈區域（指高于isoclass7、級別）進入前，需要設置盟洗室用洗手器洗手（先用潔凈洗滌劑洗滌，

8、凡是交叉污染的媒介，要經常洗滌。不要用手觸及高凈化產品和高凈化包裝材料等。要按規定戴手套和指套。再用潔凈水沖洗。洗滌后用自動烘手器烘干）。

無塵車間管理制度及流程篇三

1、目的:制定無塵車間作業環境的監控和測量通用指示，使無塵車間的作業環境處于受控狀態，從而

保證產品的質量。

2、范圍:atc亞通光電的所有無塵車間的作業環境監控和測量。

3、定義:無

4、職責:品保部ipqc負責無塵車間所有管理規定的監控。

5、工作程序:

5.1溫濕度管理:

5.1.1溫濕度規格:

5.1.1.1atc亞通公司萬級無塵車間的溫濕度控制范圍為23℃±5℃，濕度控制范圍為65%±15%。

5.1.2測量方法:

5.1.2.1測試時溫濕度的探頭要求離地面≥1.2m,溫濕度儀測試顯示值要基本穩定時才能讀取數據。

5.1.3測試頻率:

5.1.3.1作業部門分白/晚班各2次:

5.1.3.2白班10:00及15:00左右進行測試，晚班22:00及3:00左右進行測試:

5.1.4管理方法:

5.1.4.1各溫濕度記錄擔當者按規定時間測試溫濕度并填寫《溫濕度記錄表》。如果溫濕度值超過

規定值范圍之外時，立即通知生產主管停止產線作業，并聯絡設備管理人員立刻進行改善，并將

做出當溫濕度值達到控制的范圍后方可再恢復生產:

5.1.4.2同時發《ipqc不良改善通知書》要求相關部門擬對策，并追蹤有效性:

5.1.4.3溫濕度表格每月一張，由現場qc負責更換表格，現場qc在每月交換記錄表表格的同時，

核對當月內有無異常情況，以及管理是否是正常進行；

5.1.5注意事項:非空調狀態禁止生產；

5.1.6附《背光源車間無塵度、溫濕度監測點示意圖》。

5.2微塵粒子管理

5.2.1微塵粒子規格:目前我們公司使用的無塵車間等級為萬級無塵車間；

無塵車間管理制度及流程篇四

無塵車間潔凈室施工管理制度

1.1半導體制造業必須在潔凈的環境中進行，在施工中必須遵循行業規則和程序。本文件列出了這些規則和程序的概要。為了保證項目的成功，現場的每一位人員都必須遵守。

1.2圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。

1.3潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規定的原則進行管理。

2.1所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓和訓練。被分配到潔凈建設區域的每位工人有責任和義務理解并遵守潔凈建設規則和程序。

2.2承包商負責執行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設區域進行檢查，并填寫檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品，例如:鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責提供每日執行潔凈規則和程序的人員和設備。

2.3承包商建造區域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔凈區域工作的人員進行培訓，并維護被允許在此區域工作的人員身份認定和管理。

2.4開始階段，承包商應在每個入口處安排人員（除非半導體公司在該入口處安排有人員）以確保本規則和程序的執行。

2.5重復違反規則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執行本規則和程序的供應商將被除名。

潔凈室草案分為三部分，每一部分對應施工的一個過程。施工接近完工階段，不允許從外面或潔凈區域的施工場地帶入臟物。

3.1第一部分

-第一部分主要針對直到主要施工完成后。包括屋頂，覆層，門和窗戶。所有工人必須從圖紙上標明的通道進出施工現場。每個入口將會有清洗店。所有工人進入必須保持鞋子干凈。不允許穿奇特的服裝，工人的衣服應該保持適當的干凈。現場安全規則必須時刻遵守。

-所有設備和材料必須從一個入口進入施工現場，并且保持干凈，不允許有碎片掉下。

-施工現場內不允許吃東西，吸煙，喝酒。

-每班結束時，必須清走所有垃圾和廢舊物品。總之，整個施工現場每天必須保持干凈。

3.2第二部分

-第二部分主要針對直到gridline b西邊潔凈區域的內墻完成。此時，只允許承包商雇傭的工人在潔凈區域。其他供應商如果要進入潔凈區域，必須提前向承包商提出申請，得到允許后方可進入。工人、設備和材料的入口是經過威世半導體（西安）有限公司管理人員同意的。

gridlines 1和2之間的通向成品倉庫的外門。

gridlines 15和16之間的通向原料倉庫的外門。

-其它入口必須經過潔凈工程承包商的書面批準。兩個入口旁邊將會為很可能造成污染的材料準備或拆包預留區域。進如潔凈區域之前，材料和設備不允許有臟物或由掉下，并且應該用干凈的干布擦拭干凈。

-任何可能會造成污染的活動必須必須提前經過潔凈工程承包商的批準。這包括砂紙打磨，碾，開鑿，演練，焊接，切割和任何用水或噴淋工作。承包商要用任何可能的方法預防污染。

-裝好的地板必須用pvc板包裝保護。

-第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必須的。

-第二部分草案執行期間，潔凈區域必須每天吸塵。

3.3第三部分

-第三部分主要針對直到生產車間全部建成。氣體鼓風機將持續運行以維護房間的壓力要求。

-進入的工人穿鞋套和工作服。

-所有進入潔凈區域的材料，工具和設備要用ipa和水的混合物擦拭。

-在第三部分草案執行期間，潔凈區域每天要用有過濾裝置的洗塵設備吸塵。

-必須采取潔凈措施保持安裝潔凈。

-各類部件如節氣閘，擴散體在進入施工現場時應潔凈并且拆掉包裝。內部表面應該用ipa和水的混合物擦拭。

-潔凈安裝過程中，必須密切關注所采取的潔凈措施的可靠程度，對于隔離圍護設施一定要作到及時發現、立即糾正。

-潔凈區域的所有安裝完成后，要進行最后潔凈。潔凈要用ipa和水的混合物擦拭。先潔凈天花板，然后是墻壁，墻壁應從上到下，最后是地面。

-最后潔凈完成后，gridline b東邊通過的區域將是唯一進入潔凈室的通道。以前的原料成品倉庫入口將被保護。

-最后潔凈完成后，任何進入的人都必須通過威世半導體（西安）有限公司現場經理的批準。

6設備、物品進入潔凈室規定

無塵車間管理制度及流程篇五

無塵車間潔凈室人員管理制度

1潔凈室的人員管理包括:制定專職管理人員的職責、潔凈室人員的準入制度、人員培訓教育規定、進入潔凈室人員的人凈程序管理和退出管理制度等。

2人員凈化與進入

2.1在潔凈廠房內眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔凈環境中的活動，會明顯地增加潔凈環境的污染程度。

2.2對于高級別潔凈區域，應嚴格控制進入人員數量，并規范進行二次更衣。

2.3要獲得生產環境所需要的空氣潔凈度等級或延長空氣過濾器的使用壽命，對進入潔凈室的人員、物料進行凈化十分必要。

2.4為保持潔凈室空氣潔凈度，應盡量減少進入潔凈室人員帶入的污染物。所有進人潔凈室的人員必須嚴格地按規定程序進行人身凈化。

2.5個人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妝，換上指定的服裝，按空氣潔凈度等級相應的脫衣順序脫衣，放在規定的衣柜內。

2.6進入脫衣室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脫下放在鞋柜內，禁止不脫鞋直接跨越更衣凳而進入更衣室。

2.7若公司后期發展需要更高潔凈級別要求的潔凈區域（指高于iso class7級別）進入前，需要設置盟洗室用洗手器洗手（先用潔凈洗滌劑洗滌，再用潔凈水沖洗。洗滌后用自動烘手器烘干）。

2.8凡是交叉污染的媒介，要經常洗滌。不要用手觸及高凈化產品和高凈化包裝材料等。要按規定戴手套和指套。

3潔凈室工作人員須知

3.1進入潔凈室的人員應嚴格執行人身凈化制度、路線和程序，任何人不得隨意更改。在潔凈室內必須按規定著衣、戴帽、換鞋。

3.2進入潔凈級別1萬級以及高于萬級的潔凈區域，必須至少經過二次更衣。可先從一次更衣室進入，進行更鞋、脫外衣、換潔凈服、戴口罩、帽子（或潔凈頭套）后，經過走廊進入二次更衣室，進行二次更衣、更鞋、戴防靜電腕帶、戴口罩、戴帽子，確認更換完畢后，進入風淋室進行風淋后，才能進入萬級以及高于萬級的潔凈區域。

3.3嚴禁不通過風淋而直接走旁通門進入潔凈室。旁通門只允許人員出到潔凈間外以及發生緊急情況時的進出。

3.3.1風淋室使用須知

a.風淋室是工作人員進入凈化區域前進行人身凈化的專用設備，它能將人體表面吸附著的塵埃用高速氣流吹去，使工作人員不帶污染源進入凈化區域，并能使凈化區域與非凈化區域起到氣閘作用。

b.風淋室設定和狀態:風淋室在投入使用前必須完成調試和設定，使之保持自動風淋狀態。

c.風淋室使用

-使用者無需按任何鍵即可開門進入風淋室內，人數每次限定三人，把門關好即可自動風淋，風淋時旋轉身體360度，等待風機停止工作以后蜂鳴響，內門開鎖，用戶出風淋室。

）白話文●（-按照明開鍵即可打開室內照明燈。

-禁止一線使用者對設備的數值設定進行更改，數據更改必須由專業的管理人員進行。

-禁止使用者野蠻對風淋室的門（紅外電控鎖）強行推拉而損壞設備。

-風淋設備若因使用不當而損壞，使用部門應據實反映損壞原因，并立即報修。

-一線員工在使用過程中發現狀態異常，應立即通知主管部門進行處理；并停止使用風淋室。

d.風淋室正常/異常狀態的界定:

1、風淋室正常初始化自檢:打開電源操作面板led數碼顯示時間點亮，同時電腦控制器做一次檢測，二門是否關閉，有門開著則等待關門，如果二門都關閉則自動進入正常工作狀態。

2、正常工作狀態

-如果系統處于不工作狀態:按電源開關鍵使系統處于工作狀態，led被點亮。

-按照明開/關則風淋室燈被點亮或熄滅，人員可根據需要循環選擇。

-系統處于正常等待工作狀態時，風淋室的兩扇門處于關閉未鎖狀態。

3、 異常狀態:噴嘴出現微弱風速、門不能正常關閉或開啟、電源操作面板無顯示。

3.3 。2進出風淋室流程機理:

-進入:當外門（紅外電控鎖）被打開時，內門（紅外電控鎖）自動閉鎖。如果用戶進入風淋室，經過紅外探頭，風機將自動工作一定時間，此時內外門均閉鎖，風機停止工作以后蜂鳴響，內門開鎖，用戶出風淋室。開門、關門整個過程結束。

-退出:當內門被打開時外門自動閉鎖，用戶關門后，則內外門均開鎖，用戶可以從任意門出風淋室。開門、關門，整個過程結束。

3.4作業人員在潔凈室內工作時，動作要輕。嚴格執行操作規程，不允許跑跳、打鬧及喊叫，不作不必要的動作，不作易發塵和大幅度的動作。

3.5作業人員在潔凈室內工作時，盡量避免人員聚集現象。若個別工位無特殊協作需求，其他工位員工禁止聚集、圍觀與自己工位工作不相干的其他工位正常工作事件。

3.6為不干擾氣流，在作業區上游側不應放物品，生產操作一般應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。

3.7不允許將與生產無關和容易產塵的物品帶入潔凈室，嚴禁在潔凈室內吸煙、飲食和進行非生產性活動。

3.8患有以下幾種疾病的員工是不宜進入潔凈室的:呼吸系統疾病（如嚴重的感冒咳嗽等，患者除了會傳播病菌、病毒外，還會因咳嗽而產生大量的污濁顆粒混入潔凈的空氣中）、皮膚疾病（如明顯脫皮、掉皮屑的皮炎等）；針對上述情形若采取了可靠的額外人凈措施時是可以進入潔凈室的。

4潔凈室人員退出時應注意的事項

4.1為了防止再次進入和往返作業對潔凈室造成交叉污染按規定的順序退出潔凈室。

4.2潔凈室人員在作業中途和作業完畢在退出到更衣區之前不得脫掉潔凈工作服，進入更衣室先脫潔凈室用鞋，放在規定的場所。

4.3必要時脫鞋前洗手，脫鞋后再摘掉帽子，放在規定處。

4.4脫潔凈工作服時不要觸及地板、桌子和其他物品，對于潔凈服一般由下至上脫（由下至上是指先脫鞋、再脫衣、再去除帽子和口罩），用衣架掛在規定的處所。

4.5脫去潔凈工作服以后，若需再進潔凈室時，仍需按進入潔凈室的順序進行人凈。

4.6退出10k及其以下級別潔凈室時不需要經過空氣吹淋。直接走旁通門退出10k潔凈室是允許的。

4.7不能穿潔凈工作服上廁所及進入動力設備間、倉庫等非潔凈區域。